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肯富來水泵
廣東省佛山水泵廠有限公司

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肯富來真空泵污染的形成及其影響

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點擊次數(shù):  更新時間:2015-03-17 08:49:49  【打印此頁】  【關(guān)閉
       肯富來真空泵裝置由許多不同的零件組成,它們都是經(jīng)過各種機(jī)械加工完成的,如車、銑、刨、磨、銼、焊接等。這樣,零件表面不可避免地會沾上許多加工油脂、汗痕、拋光膏、焊劑、金屬屑、油垢等污染物。這些污染物在真空中易揮發(fā),影響真空設(shè)備的極限真空。此外,污染物在大氣壓下吸附了大量的氣體,在真空環(huán)境中,這些氣體也要被釋放出來。構(gòu)成了限制真空設(shè)備極限真空的因素。為此,零件組裝前必須清除掉污染物。
       真空裝置使用過程中,零件還會受到污染。這種污染與使用條件及真空泵有關(guān)。如真空干燥系統(tǒng),經(jīng)常使用后會受到蒸發(fā)出來的物質(zhì)的污染;真空鍍膜機(jī)的內(nèi)壁會被蒸鍍材料污染;
離子束刻蝕設(shè)備的內(nèi)壁會被工件濺射的濺散物污染;真空中電子槍的燈絲,由于高溫蒸發(fā)會使其附近表面形成金屬膜;規(guī)管燈絲在高溫下蒸發(fā),使陶瓷絕緣子上形成薄膜,破壞絕緣強(qiáng)度,影響測量的準(zhǔn)確性。真空系統(tǒng)中的機(jī)械泵油和擴(kuò)散泵油更是污染源,設(shè)備長期工作后會使設(shè)備內(nèi)部形成明顯的油膜。這些污染同樣會影響設(shè)備的性能,應(yīng)該注意隨時清除。
       超高真空系統(tǒng)中,清潔處理更為重要。良好的清潔處理工藝,可以使材料放氣率降低幾個數(shù)量級。如不銹鋼長期暴露于大氣后,不進(jìn)行任何處理,抽氣1h后的出氣率為2.7x10-1Pa•L/(s•m2),清除油污后抽氣4h,可降到1.3x10-3Pa•L/(s•m2)。在250℃下烘烤15h,出氣率進(jìn)一步降到1.3x10-6Pa•L/(s•m2)。好的清潔處理工藝,可以提高設(shè)備的極限真空。
 
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